氣體質(zhì)量流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述：

D07-11CM 氣體質(zhì)量流量計(jì)密封材料：氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

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D07-11CM 氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號(hào)	D07-11CM
產(chǎn)品類(lèi)型	高耐壓型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重復(fù)精度	±0.2% FS
線(xiàn)性	±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
響應(yīng)時(shí)間	≤10sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	10MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號(hào)	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類(lèi)型	無(wú)閥
溫度系數(shù)	- 無(wú) -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無(wú) -
電氣連接	D sub 15 pins Male
工作壓差范圍	＜0.02 MPa
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套1/8”(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿(mǎn)量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4”
表面化學(xué)成分	- 無(wú) -
表面粗糙度	- 無(wú) -
抗電磁干擾	CE
重量	1Kg